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膜厚測(cè)量?jī)x

膜厚測(cè)量?jī)x

參數(shù)
單位
指標(biāo)
備注
光源中心波長(zhǎng)
nm
840
波長(zhǎng)范圍
mm
>100
@3dB
橫向分辨率
um
5
@840nm
軸向分辨率
um
4
校準(zhǔn)后
最大成像深度
mm
3.7
空氣中,受限于材料透明度
最大定位量程
mm
>50
空氣中
成像速度
kHz
80
1-80kHz可調(diào)

特性

膜厚測(cè)量?jī)x橫向和軸向分辨率為5μm和4μm,可成像深度大于3.5mm,特征應(yīng)用為測(cè)量半透明工業(yè)膜層的厚度,材料表面的缺陷檢測(cè)。集成材料表面的定位功能和成像的實(shí)時(shí)顯示功能,適用于生產(chǎn)線在線監(jiān)測(cè)和反饋控制。

本膜厚測(cè)量?jī)x可根據(jù)應(yīng)用場(chǎng)景作相應(yīng)定制,包括系統(tǒng)分辨率、可成像深度、成像速度等。

應(yīng)用

膜厚測(cè)量
近表面缺陷檢測(cè)
生產(chǎn)線在線監(jiān)測(cè)和反饋控制